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洁净室技术的发展之道

作者: 来源: 日期:2016-06-16 09:30:07 人气:59

  从洁净室来说,它是一个比较全面的,由于时刻的联系,咱们不能做悉数的介绍,只能从空调方面来做介绍。它关于咱们国家来说,也是革命性的环境的解决计划。

  这是咱们典型的前期的计划,这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么,上下都是新风机,那么它的作业原理是在天花顶层有一个重复的高效作用器。这上面两个是循环空调机,也能够放在上面,也能够放在旁边面。经过新风机组弥补新风,经过循环风机把洁净室经过地上下来的回风,经过循环风机关于冷量和湿度的调理,然后送到静压箱进行混合,然后经过顶部循环到车间里边去。这么,使咱们悉数的气体,跟咱们大型的空调不一样。咱们大型的空调也许只要几个功用,这儿是一切的空气从顶层悉数压下来。这是咱们第一步完成的现代洁净室的原理,它到达了100级以上。

  100级是什么概念呢?举个比如,今日咱们在做的环境,是咱们看到的十分洁净的环境,应该是多少级呢?是200万到300万级,即是每立方英尺大于5个颗粒,即是相当于3.05平方米,这么大的体积里边所拥有的超越0.5以上的微米是多少。那么,咱们今日这个环境,我估量在200万到300万G。那么,这么的洁净室,到达的是100微米,即是不能超越100微米,得小于100微米。  咱们的集成电路在封装之前,它的导线咱们国家保存地说是0.08微米,也有说是0.07微米。所以,三个电路发作出来的悉数是这个,所以环境关于成品是十分关键的。这是到达了100级的洁净室。
 那么,到了90年代末期,比如说长虹等等的厂家,咱们弄了一个909工程开端上马了。洁净室的建筑面积到达了1万3千平方米,净化面积是1G。那么方才说的是100级,那么如今说的是1级。方才我讲的0.5微米以上是100级,那么这儿要求的是更高,是0.12微米。所以洁净室的技能进一步进步了。

  经过干盘管进行温度的交流,在两头从这儿往上走。走到咱们上面的静压箱,然后经过别的一个全新的设备,即是FFU,这是什么意思呢?即是高效空气过滤单元,经过它往下走。新风空调机在这儿,咱们要往上送,它从创新的视点中心上来说,即是用了FFU这个东西。  它从作业原理上,解决了咱们前面一个原理。前面一个进程是什么呢?虽然是彻底从顶上压下来,咱们空气洁净决议空气的气流构成方式。即是从理论上,要严格地每一个空气都笔直下来,悉数地压下来。这么的话,咱们的空气会相本地洁净。可是,事实上做起来会十分艰难。       艰难作哪里?咱们能够看到,它是经过外部的风机把它送上去,送进去今后在这儿往下压。那么,这必定存在着一个阻力不平衡的疑问,那么阻力大的地方风速就大,阻力小的地方风速就小,就不能严格地确保这个风体的笔直性。

  咱们这儿把悉数的屋面,确保笔直的情况下,这么才干做到1级。1级是什么概念?即是1平方米只能是1微米,可是做可不能这么,由于你思考不能依照60分考,你依照60分考,你就也许是58分。所以,你要依照70分、80分去考,所以1微米等于是没有做。

  到了这个等级咱们的净化是跟FFU的物质密度有联系,那么物质密度越大,气流就越多,可是带来的疑问是关于悉数空气循环的量十分大。那么,咱们这边通道的要求就要很宽阔,那么空气的量越大,关于空气处理的量就越大。咱们空气每发作一次循环,就有一个温升,温度就要进步,所以冷却。所以,它处理的量就大了,那么这边的阻力就加大了。

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