洁净室技术的发展之道

　　从洁净室来说，它是一个比较全面的，由于时刻的联系，咱们不能做悉数的介绍，只能从空调方面来做介绍。它关于咱们国家来说，也是革命性的环境的解决计划。

　　这是咱们典型的前期的计划，这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么，上下都是新风机，那么它的作业原理是在天花顶层有一个重复的高效作用器。这上面两个是循环空调机，也能够放在上面，也能够放在旁边面。经过新风机组弥补新风，经过循环风机把洁净室经过地上下来的回风，经过循环风机关于冷量和湿度的调理，然后送到静压箱进行混合，然后经过顶部循环到车间里边去。这么，使咱们悉数的气体，跟咱们大型的空调不一样。咱们大型的空调也许只要几个功用，这儿是一切的空气从顶层悉数压下来。这是咱们第一步完成的现代洁净室的原理，它到达了100级以上。

　　100级是什么概念呢？举个比如，今日咱们在做的环境，是咱们看到的十分洁净的环境，应该是多少级呢？是200万到300万级，即是每立方英尺大于5个颗粒，即是相当于3.05平方米，这么大的体积里边所拥有的超越0.5以上的微米是多少。那么，咱们今日这个环境，我估量在200万到300万G。那么，这么的洁净室，到达的是100微米，即是不能超越100微米，得小于100微米。　　咱们的集成电路在封装之前，它的导线咱们国家保存地说是0.08微米，也有说是0.07微米。所以，三个电路发作出来的悉数是这个，所以环境关于成品是十分关键的。这是到达了100级的洁净室。
　那么，到了90年代末期，比如说长虹等等的厂家，咱们弄了一个909工程开端上马了。洁净室的建筑面积到达了1万3千平方米，净化面积是1G。那么方才说的是100级，那么如今说的是1级。方才我讲的0.5微米以上是100级，那么这儿要求的是更高，是0.12微米。所以洁净室的技能进一步进步了。

　　经过干盘管进行温度的交流，在两头从这儿往上走。走到咱们上面的静压箱，然后经过别的一个全新的设备，即是FFU，这是什么意思呢？即是高效空气过滤单元，经过它往下走。新风空调机在这儿，咱们要往上送，它从创新的视点中心上来说，即是用了FFU这个东西。　　它从作业原理上，解决了咱们前面一个原理。前面一个进程是什么呢？虽然是彻底从顶上压下来，咱们空气洁净决议空气的气流构成方式。即是从理论上，要严格地每一个空气都笔直下来，悉数地压下来。这么的话，咱们的空气会相本地洁净。可是，事实上做起来会十分艰难。       艰难作哪里？咱们能够看到，它是经过外部的风机把它送上去，送进去今后在这儿往下压。那么，这必定存在着一个阻力不平衡的疑问，那么阻力大的地方风速就大，阻力小的地方风速就小，就不能严格地确保这个风体的笔直性。

　　咱们这儿把悉数的屋面，确保笔直的情况下，这么才干做到1级。1级是什么概念？即是1平方米只能是1微米，可是做可不能这么，由于你思考不能依照60分考，你依照60分考，你就也许是58分。所以，你要依照70分、80分去考，所以1微米等于是没有做。

　　到了这个等级咱们的净化是跟FFU的物质密度有联系，那么物质密度越大，气流就越多，可是带来的疑问是关于悉数空气循环的量十分大。那么，咱们这边通道的要求就要很宽阔，那么空气的量越大，关于空气处理的量就越大。咱们空气每发作一次循环，就有一个温升，温度就要进步，所以冷却。所以，它处理的量就大了，那么这边的阻力就加大了。